웨이퍼척
Model
JW-HPIF-6080
Vision System
대상물을 STAGE에 부착하여 위치제어 후 수직 이동하여 상부 고정된 Needle과 접촉 여부를 Scope로 확인검사
Applification
- 반도체 검사 시스템
- 웨이퍼 검사 장비
| Dimension | Machine size | 800x600x575 |
| Motion | X-Y / θ Repeatability | ±2[um] / ±0.003[°] |
| Z Repeatability | ±2[um] | |
| Vision | Camera | 2M, 1/1.8″ CCD |
| Optical Magnification | 0.44x~3.56x | |
| Total Magnification | 25x~200x | |
| Working Distance | 36mm |